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産業用ガス

特殊ガス


特殊ガスは、先端技術をバックグランドで支えています
半導体製造に使用する数十種類のシリコンウェハーなどの半導体製造用に使用するモノシラン・三フッ化窒素をはじめとして、数十種類の特殊ガスを高い品質で取り揃えております。さらに製造過程で必要とされるウルトラクリーン技術においても超微量ガス分析計など、先端技術に欠くことの出来ない各種装置も取り扱っております。  


ガス名所  分子式 主な用途
特殊材料ガス
 レアガス(稀ガス)    

*取扱のない商品もございます。詳しくはお問合せください。
営業本部 営業グループ
電話:045-441-1327   FAX:045-441-7168
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