半導体製造に使用する数十種類のシリコンウェハーなどの半導体製造用に使用するモノシラン・三フッ化窒素をはじめとして、数十種類の特殊ガスを高い品質で取り揃えております。さらに製造過程で必要とされるウルトラクリーン技術においても超微量ガス分析計など、先端技術に欠くことの出来ない各種装置も取り扱っております。 |
ガス名所 | 分子式 | 主な用途 |
特殊材料ガス | ||
レアガス(稀ガス) |
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