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産業用ガス

特殊材料ガス


特殊材料ガス
燃=可燃性、毒=毒性、臭=臭気、支=支燃性、腐=腐食性
ガス名(50音順) 分子量 特性
アルシン  77.95   燃・毒・臭
 一酸化窒素 33.01   支・毒・臭
 一酸化二窒素  44.01  
 オキシ塩化リン  153.33  毒・腐
 ゲルマン  76.62  燃・毒・臭
 五塩化アンチモン  299.02  毒・腐・臭
五塩化ヒ素  252.19   -
五塩化モリブテン  273.21   毒・腐・臭
五塩化リン  208.24   毒・腐・臭
五フッ化塩化エタン(R-115)  154.47   -
五フッ化ヒ素  169.91   毒・臭
五フッ化リン  125.96   毒・臭
三塩化シラン   135.45  燃・毒・腐・臭
三塩化ヒ素   181.28  毒・腐・臭
三塩化ホウ素   117.17  毒・腐・臭
三塩化リン   137.33  毒・腐・臭
三臭化ホウ素    250.52  毒・腐・臭
三フッ化窒素    71.00  毒・腐・臭
三フッ化ヒ素    131.92  毒・臭
三フッ化ホウ素  67.81   毒・腐・臭
三フッ化メタン(R‐23)   70.01  -
三フッ化リン   87.97  毒・臭
ジエチル亜鉛   123.49  燃・毒・臭
四塩化ケイ素   169.90  毒・腐・臭
四塩化ゲルマン   214.40  毒・腐・臭
四塩化スズ   260.50  毒・腐・臭
四塩化炭素  118.37   毒・臭
ジクロルシラン   101.01  燃・毒・腐・臭
ジシラン   62.22  燃・毒・臭
ジフロロシラン   68.10  燃・毒・腐・臭
ジボラン   27.67  燃・毒・臭
ジメチル亜鉛   95.44  燃・毒・臭
臭化水   80.91  燃・毒・臭
水酸化スズ  122.72   燃・毒・臭
スチビン   124.77  燃・毒・臭
セレン化水素   80.98  燃・毒・臭
テトラエチルスズ   234.94  燃・毒・臭
テトラメチルスズ   178.83  燃・毒・臭
テルル化水素   129.62  燃・毒・臭
トリエチルアルミニウム   114.17  燃・毒・臭
トリエチルインジウム  202.01   燃・毒・臭
トリエチルガリウム   156.91  燃・毒・臭
トリシラン  92.32   燃・毒・臭
トリフロロシラン  86.09   燃・毒・腐・臭
トリメチルアミン   59.11  燃・毒・臭
トリメチルアルミニウム   72.09  燃・毒・臭
トリメチルインジウム   159.93  燃・毒・臭
トリメチルガリウム   114.83  燃・毒・臭
二酸化炭素   46.01  支・毒・腐・臭
八フッ化プロパン(R-218)    188.02  -
フッ化水素   20.01  毒・腐・臭
フッ素  38.00   燃・毒・腐・臭
ホスフィン   34.00  燃・毒・臭
メタン   16.04  
モノシラン   32.12  燃・毒・臭
モノフロロシラン   50.11  燃・毒・腐・臭
四フッ化硫黄   108.06  毒・臭
四フッ化ケイ素   104.08  毒・腐・臭
四フッ化メタン(R-14)   88.00  -
六塩化タングステン   396.57  毒・腐・臭
六フッ化硫黄  146.05   -
六フッ化エタン(R-116)   138.01  -
六フッ化タングステン   297.84  毒・腐・臭
六フッ化モリブテン   209.93  毒・腐・臭

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